폴크(FOLC)

1D 신호에서 자동 CD 측정을 위한 최적 점수 조합 기반 알고리즘- Gradient Magnitude (강도)- Sharpness (2차 도함수 기반 집중도)- Noise Contrast Ratio (SNR 기반 신뢰도)- Pair Symmetry (± gradient 쌍의 균형)이를 바탕으로 가장 신뢰도 높은 edge 쌍을 찾아 subpixel 정밀도로 CD를 측정한다. 요약이미지 로딩 → 선택 row 프로파일 추출 → 1D gradient 및 score 계산 → subpixel edge 위치 보간 + 점수 평가 → 양/음 edge 쌍 찾기 → 점수 높은 쌍 선택 → CD 계산 및 출력 예제#include #include #include #include #include using namesp..

Edge line 전체에 대해 Least-Squares Line Fitting을 수행하면, 단순히 픽셀마다 edge를 추정하는 것이 아니라, 전체 edge 점들을 직선 또는 곡선으로 모델링하여 더 안정적이고 subpixel 수준의 CD(임계 치수) 측정이 가능하다.개념- 입력 : edge image / binary edge mask image- 처리 : edge point detect -> line fitting model : ax + by + c = 0- 출력 : line to line distance, line equation of each line #include #include using namespace std; using namespace cv; // 직선 피팅 함수 (OpenCV fitL..

치수를 측정하는 소프트웨어는 반도체 공정 등에서 매우 중요한 역할을 하며, 일반적으로 엣지 검출, 바이너리 마스크 처리, 프로파일 분석 등이 있다.목적- 이미지에서 관심 영역(ROI)을 지정한 후- 경계(edge)를 검출하여- 임계 치수를 측정(Critical Dimension, CD)하는 간단한 알고리즘 예제#include #include using namespace cv; using namespace std; // 임계 치수 측정 함수 double measureCD(const Mat& binary) { vector> contours; findContours(binary, contours, RETR_EXTERNAL, CHAIN_APPROX_SIMPLE); if (contours..